መግነጢሳዊው ሞለኪውላዊ ፓምፖች መግነጢሳዊ ኃይል በጎነትን የሚደግፉባቸው ፓምፖች ናቸው።
ተከታታይ መግነጢሳዊነት የሞለኪውላዊ ፓምፖች የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፣ ቺፕ ማምረቻ ፣ የኢንዱስትሪ ንጣፍ እና የሳይንሳዊ መሣሪያዎች መስኮች የማመልከቻ መስፈርቶችን ለማሟላት በኪኪ የተገነባው የቫኪዩም ትውልድ መሣሪያዎች ናቸው።
ጥቅሞች:
1. በሚሠራበት ጊዜ ዜሮ ግጭት ፣ እና ዝቅተኛ የኃይል ፍጆታ
2. ለፓምፖች ያለ ቅባ ያለ በጣም ንጹህ ከፍተኛ የቫኪዩም እና የአልትራቫዮሌት ቫክዩም በቀላሉ ማግኘት
3. የተበላሹ ጋዞችን ለረጅም ጊዜ የማውጣት ችሎታ
4. በትክክለኛ የሴራሚክ ኳሶች ተሸካሚዎችን በመጠበቅ ምክንያት ከፍተኛ ደህንነት እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት
5. ድንገተኛ ኃይል ቢጠፋ የኃይል ማመንጫ ተግባር
6. ከግጭት ነፃ
7. ከብክለት ነፃ
8. ከጥገና ነፃ
9. ዝቅተኛ ንዝረት
10. በማንኛውም አቅጣጫ ተጭኗል።
ማመልከቻዎች
ተከታታይ መግነጢሳዊነት የሞለኪውላዊ ፓምፖች በዋናነት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፣ በቅንጥብ ማምረቻ ፣ በኢንዱስትሪያዊ ፕላኒንግ እና በሳይንሳዊ መሣሪያዎች መስኮች ላይ ይተገበራሉ ፣ በተለይም በኤች ፣ CVD ፣ PVD እና ion ተከላ እና ጋዞች በቀላሉ በመደበኛ የሙቀት መጠን ይገጣጠማሉ።
ዝርዝር መግለጫዎች
ሞዴል |
CXF-320/3001E |
የፓምፕ ፍጥነት (ሊ/ሴ ፣ አየር) |
3200 |
የመጨመቂያ ውድር |
> 1 × 108 |
የመጨረሻው ቫክዩም (ፓ) |
5 × 10-7 |
ማስገቢያ Flange |
ISO-F 320 |
መውጫ Flange |
ኬኤፍ 40 |
የማሽከርከር ፍጥነት (ራፒኤም) |
24000 |
የማብቂያ ጊዜ (ደቂቃ) |
12 |
VIB (ሚሜ) |
<0.05 |
የመጠባበቂያ ፓምፕ (ኤል/ሰ) |
15 |
መጫኛ ወይም አቀማመጥ |
ማንኛውም |
የማቀዝቀዝ ዘዴ |
ውሃ |
ክብደት (ኪግ) (ከተቆጣጣሪ ጋር) |
75 |
ቴክኖሎጂዎች
- መግነጢሳዊ ተሸካሚ የመቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂ; በተራቀቀ ዓለም አቀፍ የቁጥጥር ንድፈ-ሀሳብ ላይ በመመስረት ባለ 5-ዘንግ ማግኔት እንደ ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ዘንግ እንደ የተረጋጋ እና እንደ አስተማማኝ አሠራር ያሉ ጥቅሞችን ለማረጋገጥ።
- የሞተር ድራይቭ መቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂ; ከፍተኛ ብቃት ያለው ከፍተኛ ፍጥነት ያለው የዲሲ ሞተር እና የ servo መቆጣጠሪያ ስርዓት ፣ የሞተር ከፍተኛው ኃይል ያለው እና የማሽከርከርን የማሽከርከር ፍጥነት በራስ-ሰር ለማካካስ ፣ በዚህም የተረጋጋ ጅምር ፣ አስተማማኝ አሠራር እና ተለዋዋጭ የኃይል ኃይል በራስ-ሰር የመቆጣጠር ተግባርን ይገነዘባል።
- የካርቦን ፋይበር ድብልቅ የ rotor ቴክኖሎጂ; ከፍተኛ ጥንካሬ ያለው የአሉሚኒየም ቅይጥ እና ቀላል ክብደት ያለው የካርቦን ፋይበር በማቀላቀል የተሰራ። ከፍተኛ የማሽከርከር ፍጥነት ፣ ከፍተኛ አፈፃፀም እና ከፍተኛ አስተማማኝነት ግቦች እንዲሳኩ በከፍተኛ ክብደት መቀነስ እና በጥንካሬ መሻሻል ተለይቶ ይታወቃል።
- ዝገት የመቋቋም ቴክኖሎጂ; ክፍሎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ በሚበላሹ ጋዞች ምክንያት የሚከሰተውን ዝገት መቋቋም እንዲችሉ በክፍሎቹ ውስጥ ያሉት ክፍሎች ገጽታዎች በልዩ ሂደት ይስተናገዳሉ። በተጨማሪም ፣ እንደ ኤን 2 ያሉ የማይንቀሳቀሱ ጋዞች በፓምፖቹ ውስጥ ያሉትን ዝቅተኛ የቫኪዩም ክፍሎች ለመጠበቅ በፓምፖቹ ዘንግ ውስጥ ሙሉ በሙሉ ተሞልተዋል ፣ ስለሆነም ለረጅም ጊዜ የተበላሹ ጋዞችን የሚያደክም ተግባር እውን ይሆናል።
- የማሞቂያ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓት; በኤሌክትሪክ ማሞቂያ እና የሙቀት መቆጣጠሪያ የተገጠመለት ፣ የማቀዝቀዝ ውሃ ፣ የአየር-አጥንት ማሞቂያ ፣ በኤሌክትሪክ ማሞቂያ እና በመከላከያ ጋዞች የተሸከመ ሙቀት ክትትል እና ቁጥጥር ሊደረግበት ይችላል ፣ በፓምፖቹ ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን በተወሰነ እሴት ለረጅም ጊዜ ሊቆይ ይችላል ፣ አንዳንድ ጋዝ ንጥረ ነገሮች በተለመደው የሙቀት መጠን ወደ ጠንካራ ንጥረ ነገሮች አይለወጡም እና በፓምፖቹ ውስጥ አይቀመጡም ፣ እና ለእንደዚህ ዓይነቱ የመለጠጥ ሂደት ልዩ መስፈርቶች ሊሟሉ ይችላሉ።