መግነጢሳዊው ሞለኪውላዊ ፓምፖች መግነጢሳዊ ኃይል በጎነትን የሚደግፉባቸው ፓምፖች ናቸው።
ተከታታይ መግነጢሳዊነት የሞለኪውላዊ ፓምፖች የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፣ ቺፕ ማምረቻ ፣ የኢንዱስትሪ ንጣፍ እና የሳይንሳዊ መሣሪያዎች መስኮች የማመልከቻ መስፈርቶችን ለማሟላት በኪኪ የተገነባው የቫኪዩም ትውልድ መሣሪያዎች ናቸው።
ቴክኖሎጂዎች
- መግነጢሳዊ ተሸካሚ የመቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂ; ጉዲፈቻው ኤሌክትሮማግኔቲክ ባለ 5-ዘንግ መግነጢሳዊ ልኬት ነው። የተራቀቀ ዓለም አቀፋዊ የቁጥጥር ንድፈ ሀሳብን መሠረት በማድረግ በተለዋዋጭ ንቁ ዝግ-ዑደት መግነጢሳዊ እገዳ መቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂ አማካይነት ይህ ንድፍ ተለዋዋጭ ምላሽ እና ወቅታዊ ማስተካከያ ሊኖረው ይችላል ፣ ስለሆነም የከፍተኛ ፍጥነት ዘንግ እንደነዚህ ያሉ ጉልህ ጥቅሞችን እንደ የተረጋጋ እና የተረጋጋ አሠራር እንደ ዋስትና ለመስጠት።
- የሞተር ድራይቭ መቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂ; ከፍተኛ ብቃት ያለው ከፍተኛ ፍጥነት ያለው የዲሲ ሞተር እና የ servo መቆጣጠሪያ ስርዓት በተከታታይ መግነጢሳዊ በተነጠቁ ፓምፖች ላይ ይተገበራል ፣ ስለሆነም የሞተር ከፍተኛ ኃይል እንዲኖር እና የራስ-ሰር የማሽከርከርን የማሽከርከር ፍጥነት ለማካካስ ፣ በዚህም የተረጋጋ ጅምርን ፣ አስተማማኝ ክወና እና ራስ-ሰር ቁጥጥርን በመገንዘብ። ተለዋዋጭ ኃይል ተግባር።
- የካርቦን ፋይበር ድብልቅ የ rotor ቴክኖሎጂ; ተከታታይ መግነጢሳዊ እገዳ ሞለኪውላዊ ፓምፖች ቱርቦ ሮተሮች የሚሠሩት ከፍተኛ ጥንካሬ ያለው የአሉሚኒየም ቅይጥ እና ቀላል ክብደት ያለው የካርቦን ፋይበር በማዋሃድ ነው። ከሁሉም የአሉሚኒየም ቅይጥ rotors ጋር ሲነፃፀር የቶርቦ ሮተሮች የክብደት መቀነስ እና የጥንካሬ ከፍተኛ መሻሻል ተለይተው ይታወቃሉ ፣ ስለሆነም ከፍተኛ የማሽከርከር ፍጥነት ፣ ከፍተኛ አፈፃፀም እና ከፍተኛ አስተማማኝነት ዒላማዎች ይደረሳሉ።
- ዝገት የመቋቋም ቴክኖሎጂ; በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ በሰገነቱ ጋዞች ምክንያት ዝገት መቋቋም እንዲችሉ በተከታታይ መግነጢሳዊ ተንጠልጣይ ሞለኪውላዊ ፓምፖች ክፍሎች ውስጥ ያሉት ክፍሎች በልዩ ሂደት ይስተናገዳሉ። በተጨማሪም ፣ እንደ ኤን 2 ያሉ እንደዚህ ያሉ የማይንቀሳቀሱ ጋዞች በፓምፖቹ ውስጥ ያሉትን ዝቅተኛ የቫኪዩም ክፍሎች ለመጠበቅ በፓምፖቹ ዘንግ ውስጥ ሙሉ በሙሉ ተሞልተዋል ፣ ስለሆነም ለረጅም ጊዜ የቆዩትን የሚያበላሹ ጋዞችን ተግባር እውን ያደርጋል።
- የማሞቂያ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓት; በተከታታይ መግነጢሳዊነት የተነደፉ ሞለኪውላዊ ፓምፖች በኤሌክትሪክ ማሞቂያ እና በሙቀት መቆጣጠሪያ የተገጠሙ ናቸው ፣ ስለሆነም በማቀዝቀዣ ጋዞች የተሸከሙት የማቀዝቀዣ ውሃ ፣ የአየር-አጥንት ማሞቂያ ፣ የኤሌክትሪክ ማሞቂያ እና ሙቀት ክትትል እና ቁጥጥር እንዲደረግ ፣ በፓምፖቹ ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን በ አንዳንድ የረጅም ጊዜ ዋጋ ፣ አንዳንድ የጋዝ ንጥረ ነገሮች በመደበኛ የሙቀት መጠን ወደ ጠንካራ ንጥረ ነገሮች አይለወጡም እና በፓምፖቹ ውስጥ አይቀመጡም ፣ እና ለእንደዚህ ዓይነቱ የመለጠጥ ሂደት ልዩ መስፈርቶች ሊሟሉ ይችላሉ።
ጥቅሞች:
1. በሚሠራበት ጊዜ ዜሮ ግጭት ፣ እና ዝቅተኛ የኃይል ፍጆታ
2. ለፓምፖች ያለ ቅባ ያለ በጣም ከፍተኛ ከፍተኛ የቫኪዩም እና የአልትራቫዮሌት ባዶ ቦታን በቀላሉ ማግኘት
3. ለረጅም ጊዜ የሚበላሹ ጋዞችን ለማውጣት የሚችል
4. በትክክለኛ የሴራሚክ ኳሶች ተሸካሚዎችን በመጠበቅ ከፍተኛ ደህንነት እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት
ድንገተኛ ኃይል-ጠፍቶ ከሆነ 5. የኃይል ማመንጫ ተግባር
ዝርዝር መግለጫዎች
ሞዴል |
CXF-200/1401E |
የፓምፕ ፍጥነት (ሊ/ሴ ፣ አየር) |
1400 |
የመጨመቂያ ውድር |
> 1 × 107 |
የመጨረሻው ቫክዩም (ፓ) |
≤2 × 10-6 |
ማስገቢያ Flange |
DN200 ISO ኤፍ |
DN200 ISO CF |
መውጫ Flange |
ኬኤፍ 40 |
የማሽከርከር ፍጥነት (ራፒኤም) |
33000 |
የማብቂያ ጊዜ (ደቂቃ) |
6 |
VIB (ሚሜ) |
<0.05 |
የመጠባበቂያ ፓምፕ (ኤል/ሰ) |
15 |
መጫኛ ወይም አቀማመጥ |
ማንኛውም |
የማቀዝቀዝ ዘዴ |
ውሃ |
ክብደት (ኪግ) (ከተቆጣጣሪ ጋር) |
51 |
ማመልከቻዎች
ተከታታይ መግነጢሳዊነት የሞለኪውላዊ ፓምፖች በዋናነት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፣ በቅንጥብ ማምረቻ ፣ በኢንዱስትሪያዊ ፕላኒንግ እና በሳይንሳዊ መሣሪያዎች መስኮች ላይ ይተገበራሉ ፣ በተለይም በኤች ፣ CVD ፣ PVD እና ion ተከላ እና ጋዞች በቀላሉ በመደበኛ የሙቀት መጠን ይገጣጠማሉ።